Huttinger等離子體射頻電源TruPlasma Match1000提供解決方案

Huttinger等離子體射頻電源TruPlasma Match1000提供技術(shù)支持服務(wù)

　　高頻電流:測(cè)量用于識(shí)別等離子體異常的高精度AC電流測(cè)量裝置，于工藝流程就近安放在阻抗匹配器內(nèi)，緊挨腔室。

　　電弧管理:是適用于等離子體工藝流程控制的理想模塊。有針對(duì)性的電弧識(shí)別確保生產(chǎn)效率，同時(shí)保護(hù)產(chǎn)品與設(shè)備。

　　接口：Analog/Digital、PROFIBUS和EtherCAT作為可選接口提供。標(biāo)配EtherNet、SystemPort和RS232/485。

　　等離子體工藝就像一個(gè)復(fù)雜可變的負(fù)載，必須通過發(fā)生器為其不斷供電。這項(xiàng)工作由有源匹配網(wǎng)絡(luò)（所謂的阻抗匹配器）來完成，確保隨時(shí)匹配50Ω的最佳阻抗。由此形成協(xié)調(diào)的系統(tǒng)解決方案——通快RF系統(tǒng)。通過不同接口（如EtherCAT）可十分輕松地將發(fā)生器和阻抗匹配器集成至現(xiàn)有工藝環(huán)境之中，并通過發(fā)生器與阻抗匹配器的智能連接（即所謂的SystemPort）形成經(jīng)優(yōu)化的系統(tǒng)解決方案。

　　Huttinger霍廷格高頻電源PFG 1000

　　霍廷格huttinger DC3030直流磁控濺射電源

　　憑借主振蕩器可穩(wěn)定和優(yōu)化關(guān)鍵的同步等離子體過程。集成式數(shù)字頻率與相位合成器確保高頻率與相位穩(wěn)定性，可以實(shí)現(xiàn)按照極小的步幅調(diào)整相位。可選擇用于13.56 MHz頻率以及各種頻率組合的不同規(guī)格主振蕩器。

　　復(fù)雜的圖形表示實(shí)現(xiàn)全面管理所有相關(guān)工藝參數(shù)。負(fù)載與阻抗匹配器阻抗通過史密期圓圖，含頻率與相位在內(nèi)的高頻輸入與輸出功率借助實(shí)時(shí)示波器進(jìn)行可視化。