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吉時(shí)利全自動(dòng)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀

簡(jiǎn)要描述:吉時(shí)利全自動(dòng)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS參數(shù)分析儀加快各類(lèi)材料、半導(dǎo)體器件和*工藝的開(kāi)發(fā),完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能電學(xué)特性參數(shù)分析儀,提供同步電流電壓曲線測(cè)試(I-V曲線測(cè)試)、電容-電壓曲線測(cè)試(C-V曲線測(cè)試)和超快脈沖I-V曲線測(cè)量。

  • 產(chǎn)品型號(hào):4200A-SCS
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時(shí)間:2024-01-28
  • 訪  問(wèn)  量:1395

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吉時(shí)利全自動(dòng)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS參數(shù)分析儀

吉時(shí)利全自動(dòng)半導(dǎo)體參數(shù)分析儀4200A-SCS參數(shù)分析儀

加快各類(lèi)材料、半導(dǎo)體器件和*工藝的開(kāi)發(fā),完成制程控制、可靠性分析和故障分析。4200A-SCS是業(yè)內(nèi)性能電學(xué)特性參數(shù)分析儀,提供同步電流電壓曲線測(cè)試(I-V曲線測(cè)試)、電容-電壓曲線測(cè)試(C-V曲線測(cè)試)和超快脈沖I-V曲線測(cè)量。


  主要性能指標(biāo)

  I-V源測(cè)量單元(SMU)

  ●±210 V/100 mA或±210 V/1 A模塊


  ●100 fA測(cè)量分辨率


  ●選配前端放大器提供了0.1 fA測(cè)量分辨率


  ●10 mHz-10 Hz超低頻率電容測(cè)量


  ●四象限操作


  ●2線或4線連接


  C-V多頻率電容單元(CVU)


  ●AC阻抗測(cè)量(C-V,C-f,C-t)


  ●1 kHz-10 MHz頻率范圍


  ●±30 V(60V差分)內(nèi)置DC偏置源,可以擴(kuò)展到±210 V(420 V差分)


  ●選配CVIV多功能開(kāi)關(guān),在I-V測(cè)量和C-V測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換


  脈沖式I-V超快速脈沖測(cè)量單元(PMU)


  ●兩個(gè)獨(dú)立的或同步的高速脈沖I-V源和測(cè)量通道


  ●200 MSa/s,5 ns采樣率


  ●±40 V(80 V p-p),±800 mA


  ●瞬態(tài)波形捕獲模式


  ●任意波形發(fā)生器Segment ARB®模式,支持多電平脈沖波形,10ns可編程分辨率


  高壓脈沖發(fā)生器單元(PGU)


  ●兩個(gè)高速脈沖電壓源通道


  ●±40 V(80 V p-p),±800 mA


  ●任意波形發(fā)生器Segment ARB®模式,支持多電平脈沖波形,10ns可編程分辨率


  -V/C-V多開(kāi)關(guān)模塊(CVIV)


  ●在I-V測(cè)量和C-V測(cè)量之間簡(jiǎn)便切換,無(wú)需重新布線或抬起探針


  ●把C-V測(cè)量移動(dòng)到任意端子,無(wú)需重新布線或抬起探針


  遠(yuǎn)程前端放大器/開(kāi)關(guān)模塊(RPM)


  ●在I-V測(cè)量、C-V測(cè)量和超快速脈沖I-V測(cè)量之間自動(dòng)切換


  ●把4225-PMU的電流靈敏度擴(kuò)展到數(shù)十皮安


  ●降低電纜電容效應(yīng)


  4200A-SCS-PKA高分辨率IV套件


  4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機(jī)


  4201-SMU:兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率SMU


  4200-PA:一個(gè)預(yù)放大器


  8101-PIV:一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具


  4200A-SCS-PKB高分辨率IV和CV套件


  4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機(jī)


  4201-SMU:兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率SMU


  4200-PA:一個(gè)預(yù)放大器


  4215-CVU:一個(gè)高分辨率多頻C-V單元


  8101-PIV:一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具


  4200A-SCS-PKC高功率IV和CV套件


  4200A-SCS:參數(shù)分析儀主機(jī)


  4201-SMU:兩個(gè)用于高容量設(shè)置的中功率SMU


  4211-SMU:兩個(gè)用于高容量設(shè)置的高功率SMU


  4200-PA:兩個(gè)預(yù)放大器


  4215-CVU:一個(gè)高分辨率多頻C-V單元


  8101-PIV:一個(gè)帶有采樣裝置的測(cè)試夾具


  4200-BTI-A超快NBTI/PBTI套件


  用于使用硅CMOS技術(shù)進(jìn)行的復(fù)雜NBTI和PBTI測(cè)量


  4200-BTI-A套件包括:


  1個(gè)4225-PMU超快I-V模塊


  2個(gè)4225-RPM遠(yuǎn)程預(yù)放大器/開(kāi)關(guān)模塊


  自動(dòng)化檢定套件(ACS)軟件


  超快BTI測(cè)試項(xiàng)目模塊布線


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