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簡要描述：國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術，實現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-06-06訪 問 量：83詳細介紹
| 品牌 | 國儀量子 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 能源,電子/電池,電氣 |
| 圖像采集速度 | 10 ns/pixel，2*100 M pixel/s | 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) ； 6 kV~30 kV(非減速模式) |
| 分辨率 | 1.3nm@3kV，SE；1.5nm@1kV，SE，0.9nm@30kV，STEM | 視場大小 | 最大視場1*1 mm2，高分辨微畸變視場64*64 um2 |
| 樣品臺精度 | 重復定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um |
國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡是一款可實現(xiàn)跨尺度大規(guī)模樣品成像的高速掃描電子顯微鏡。采用高亮度大束流電子槍、高速電子偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高壓樣品臺減速、動態(tài)光軸、浸沒式電磁復合物鏡等技術，實現(xiàn)了超快的數(shù)據(jù)采集和成像速度，同時保證了納米級分辨率。
國儀量子HEM6000高速掃描電子顯微鏡面向應用場景的自動化操作流程設計，使得大面積的高分辨率圖像采集工作更高效、更智能。成像速度可達常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的5倍以上。
高速掃描驅(qū)動器
駐點時間10 ns/pixel，
最快采集速度2*100 M pixel/s
電子過濾系統(tǒng)
SE/BSE信號自由切換，
信號混合比例可調(diào)
全靜電高速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)
可實現(xiàn)高分辨大場模式，
4 nm像素點最大視場達64*64 um2
樣品臺減速技術
降低入射電子落點電壓，
同時提高回收電子的收集效率
浸沒式電磁復合物鏡
物鏡磁場浸沒樣品
實現(xiàn)了低像差高分辨率
1、高速自動化
全自動上下樣流程和采圖作業(yè)，綜合成像速度優(yōu)于常規(guī)場發(fā)射掃描電鏡的 5 倍
2、大場低畸變
跟隨掃描場動態(tài)變化的光軸，實現(xiàn)了更低的場邊緣畸變
3、低壓高分辨
樣品臺減速技術，實現(xiàn)低落點電壓，同時保證高分辨率
| 關鍵參數(shù) | 分辨率 | 1.3nm@3 kV，SE ; 1.5nm@1 kV，SE | |
| 1.9nm@ 3 kV, BSE; 2.3nm@ 1 kV, BSE | |||
| 0.9nm@30kV，STEM | |||
| 加速電壓 | 100 V~6 kV(減速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非減速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 電子槍類型 | 高亮度肖特基場發(fā)射電子槍 | ||
| 物鏡類型 | 浸沒式電磁復合物鏡 | ||
| 偏轉(zhuǎn)系統(tǒng) | 靜電偏轉(zhuǎn)器 | ||
| 樣品裝載系統(tǒng) | 真空系統(tǒng) | 全自動控制，無油真空系統(tǒng) | |
| 樣品監(jiān)控 | 樣品倉監(jiān)控水平攝像頭； 換樣倉監(jiān)控垂直攝像頭 | ||
| 樣品最大尺寸 | 直徑4英寸 | ||
| 樣品臺 | 類型 | 電機驅(qū)動3軸樣品臺（*可選配壓電驅(qū)動樣品臺） | |
| 行程 | X、Y軸：110mm； Z軸：16mm； | ||
| 重復定位精度 | X軸：±0.6μm； Y軸：±0.3μm； | ||
| 換樣方式 | 全自動控制 | ||
| 換樣時間 | ＜15 min | ||
| 換樣倉清洗 | 全自動控制等離子清洗系統(tǒng) | ||
| 圖像采集與處理 | 駐點時間 | 10 ns/pixel | |
| 圖像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 圖像大小 | 24K*24K | ||
| 探測器和擴展 | 標配 | 鏡筒內(nèi)混合電子探測器 | |
| 選配 | 低角度背散射電子探測器 | ||
| 鏡筒內(nèi)高角度背散射電子探測器 | |||
明場透射電子探測器 | |||
| 高角/中角/底角暗場透射電子探測器 | |||
| 壓電驅(qū)動樣品臺 | |||
| 高分辨大場模式 | |||
| 樣品倉等離子清洗系統(tǒng) | |||
| 6英寸樣品裝載系統(tǒng) | |||
| 主動減震臺 | |||
| AI降噪；大圖拼接；三維重構 | |||
| 軟件 | 語言 | 中文 | |
| 操作系統(tǒng) | Windows | ||
| 導航 | 光學導航、手勢快捷導航 | ||
| 自動功能 | 自動樣品識別、自動選區(qū)拍攝、自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散 | ||
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